中國電科：芯片制造關鍵設備再突破，離子注入機實現全譜系產品國產化
創頭條獲悉，3月17日，中國電子科技集團有限公司（中國電科）對外公布，該集團旗下電科裝備已成功實現離子注入機全譜系產品國產化，可為全球芯片制造企業提供離子注入機一站式解決方案。
中國電科旗下電科裝備研制成功的離子注入機。中國電科 供圖
中國電科介紹說，離子注入機是芯片制造中的關鍵裝備。電科裝備連續突破大流強長壽命高品質離子源、高速晶圓傳輸等“卡脖子”關鍵技術，自主研制出中束流、大束流、高能、特種應用及第三代半導體等離子注入機，工藝段覆蓋至28納米，已累計形成核心發明專利413項，實現中國芯片制造領域全譜系離子注入機自主創新發展，將有效緩解中國芯片制造領域斷鏈、短鏈難題。
據了解，中國電科是在原信息產業部直屬的46家電子科研院所及26家全資或控股公司基礎上組建而成，于2002年3月1日正式掛牌運營，主要從事國家重要軍民用大型電子信息系統的工程建設，重大電子裝備、軟件、基礎元器件和功能材料的研制、生產及保障服務。是中央直接管理的涉及國家安全和國民經濟命脈的國有重要骨干企業，是國內唯一覆蓋電子信息技術全領域的大型科技集團。
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